金融界2025年6月23日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种上电极结构、半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120183990A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种上电极结构、半导体工艺腔室及半导体工艺设备，上电极结构包括：上电极组件，用于设置于半导体工艺腔室的顶部；磁性组件，设置于上电极组件的上方，磁性组件包括至少两个线圈组，所述至少两个线圈组在竖直方向排列；每个线圈组包括第一线圈和至少一个第二线圈，所述至少一个第二线圈依次嵌套设置，并且最内侧的第二线圈嵌套在第一线圈的外侧，所述第二线圈与所述第一线圈各自独立接受直流供电。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1070次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界
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